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能材大讲坛|第三十八期学术沙龙—金属/半导体薄膜电子-声子耦合输运
发布时间:2024-11-06 16:05:35   发布人: 能源与材料学院

116日上午,能源与材料学院第三十八期学术报告在28号楼210会议室成功举办。上海集成电路研究院计算实验室研发主任工程师缪吴丽博士以“金属/半导体薄膜电子-声子耦合输运”为题做主旨报告,分享了新发展的电子-声子耦合运输的算法和模型。集成电路研究院院长鲍华教授主持了会议。 

金属薄膜及其与半导体组成的多层薄膜广泛存在于微纳电子器件、先进制造中,对其中电子-声子耦合热输运过程机理分析及准确模拟对热管理和先进制造至关重要。微纳米尺度下,一方面,宏观的傅里叶导热定律如双温模型不再成立;另一方面,介观的电子声子玻尔兹曼方程因电子-声子散射相互耦合。且积分形式的散射项使得对其直接求解非常困难,有必要做出相应简化。本次报告从相互耦合的电子、声子玻尔兹曼方程出发,理论推导上将其简化成弛豫时间近似格式,建立了电子-声子耦合输运的数学模型,并研究了金属薄膜中电子-声子耦合输运及金属/半导体多层薄膜中的热输运。证明了考虑金属薄膜中电子-声子耦合输运的重要性,并给出基于金属薄膜厚度的重要性判据。新发展的算法和模型将为研究微纳米尺度下电子热输运、电子-声子耦合输运提供一套综合研究方法。

报告人简介:缪吴丽,博士,20226月获得清华大学博士学位。毕业后加入上海集成电路材料研究院计算实验室担任研发主任工程师。主要研究方向为量测算法设计、多尺度计算、电学输运计算等,作为项目骨干参与上海市科技创新行动基础研究项目。博士期间面向电子-声子耦合输运、界面热输运等展开研究,基于耦合的电子、声子玻尔兹曼方程,建立一套电子-声子耦合输运的数学模型,相关成果以第一作者身份发表在Phys.Rev.BInt.J. Heat Mass Transf. 期刊。曾获清华之友-高田特等奖学金、清华大学航天航空学院科研探索奖学金。


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